




氫氣檢漏法的主要設(shè)備
(1)檢漏儀:采用上述工作原理制造的專用氫氣檢漏儀,由于氫氣的上述性質(zhì),其靈敏度可以達(dá)到與氦檢相同水平。
(2)示蹤氣體充注控制器:對(duì)于批量生產(chǎn)的用戶,采用示蹤氣體充注控制器進(jìn)行抽真空/充氣/排氣操作,可以完成對(duì)檢測(cè)管道的充氣和排氣過(guò)程自動(dòng)化控制。
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氫氣檢漏法的優(yōu)勢(shì)
制冷、空調(diào)行業(yè)檢漏技術(shù)的現(xiàn)狀:在產(chǎn)品部件生產(chǎn)過(guò)程中,目前常使用氦檢漏技術(shù)來(lái)查找微小的泄漏,而保壓測(cè)試和水浴法常被用來(lái)檢測(cè)較大的泄漏。設(shè)備應(yīng)適用氣密性檢測(cè)、應(yīng)具有大漏判定功能,微漏定量檢漏功能,工件泄漏總的判定功能,并能滿足連續(xù)生產(chǎn)的需求,具有較高的自動(dòng)化程度,操作簡(jiǎn)便、安全、可靠。產(chǎn)品裝配完成并充入制冷劑之后,可能在出廠前還會(huì)使用鹵素檢漏儀對(duì)整個(gè)產(chǎn)品再進(jìn)行一次檢漏。由于保壓測(cè)試和水浴法只能檢出10-3mbar·l/s左右的泄漏,因此長(zhǎng)期以來(lái),氦檢漏技術(shù)是制冷、空調(diào)行業(yè)中的檢小漏的手段,吸槍式氦檢漏技術(shù)一般可以檢出10-7mbar·l/s左右的泄漏。但是,以氦氣作為示漏氣體,也有一些不足之處,例如橡膠、塑料等有機(jī)材料常常會(huì)吸收氦氣,在吸收后慢慢地釋放出來(lái);所有的氦氣檢漏儀器機(jī)構(gòu)的離子收集板,對(duì)氦氣都會(huì)產(chǎn)生記憶效應(yīng),即氦離子打到離子收集板上,并儲(chǔ)存一定時(shí)間,然后再慢慢釋放出來(lái),從而造成本底的噪音等問(wèn)題。
無(wú)論是在漏點(diǎn)定位還是在泄漏測(cè)試應(yīng)用,這種檢漏方法已經(jīng)在各個(gè)行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)得到了廣泛使用。該法的靈敏度與被試驗(yàn)物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點(diǎn)與檢漏器(探頭)間的距離等因素有關(guān)。與氦氣相比,使用低密度的安全氫氣作為檢漏用的示蹤氣體具有很多優(yōu)勢(shì)。其價(jià)格非常低廉,很容易在各個(gè)氣體供應(yīng)商處購(gòu)得?,F(xiàn)今的氫氮混合氣檢漏技術(shù)可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏,相當(dāng)于0.1g/y,其氣體使用成本僅是氦氣的1/10到1/20,同時(shí)氦氣檢漏法要增加一些輔助設(shè)備,如氦氣回收系統(tǒng)等。

真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對(duì)應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。5%氫氣與95%氮?dú)獾幕旌蠚怏w是不可燃的(ISO10156國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)),無(wú)毒性和腐蝕性,也不會(huì)對(duì)設(shè)備和環(huán)境產(chǎn)生不利影響。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?
這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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真空設(shè)備檢漏
一個(gè)真空系統(tǒng)(或容器)要求做到絕dui不漏氣是不現(xiàn)實(shí)的,也是沒(méi)有必要的,所以就要根據(jù)真空系統(tǒng)實(shí)際應(yīng)用的具體條件,對(duì)漏率指標(biāo)提出合理的要求,只要漏孔的漏率已足夠小,使得平衡壓強(qiáng)低于真空系統(tǒng)工作所需的壓強(qiáng),這些漏孔就是允許的。真空設(shè)備檢漏設(shè)備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行定位、定量和定性檢測(cè)的專用檢漏儀器。真空系統(tǒng)正常工作所能允許的做大漏氣量,稱da允許漏率,簡(jiǎn)稱允許漏率。此值不僅是設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)的一項(xiàng)主要指標(biāo),也是檢漏的依據(jù)。
如果已知允許的總氣載,而沒(méi)有具體指明究竟有多大,那么,在設(shè)計(jì)合理的前提下。da允許漏率Q漏=0.1Q總,不同真空系統(tǒng)所允許的總漏率也不同。
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